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派瑞林（parylene）-好的纳米防水技术

六十年代中期美国union carbide co. 开发应用的一种新型敷形涂层材料，它是一种对二甲l的聚合物，根据分子结构的不同，parylene可分为n型、c型、d型、ht型等多种类型。

parylenen 聚对二甲l，具有zui强的渗透能力，能够有效地在各种细缝或盲孔表面形成薄膜。它的介电常数极低(2.65)及耗散因子小，且随外界频率的增加变化不大；同时具有zui佳的润滑效果，ptfe涂层公司，主要用于橡胶、光学领域。

派瑞林涂层的特点：

沉积特点：

高分子膜的聚合生长 --单分子的生长模式

无固化应力 --无膨胀/收缩及变形

非液相过程 --无流挂及边角效应

高度同形性 --底面、内表面、边缘及侧面均匀涂层

无催化剂 --高纯度、无溶剂助剂无放气现象。

涂层厚度可精l确控制：

涂层厚度取决于原料消耗量及气体单体在沉积腔内的驻留时间;

通常的沉积速率为0.5-5um/hour，与沉积温度，自由基浓度有关.